シリコンコンデンサ
シリコンコンデンサおよび薄膜コンデンサは、半導体デバイスの製造に広く用いられる装置・手法・材料を用いて製造される特殊なデバイスです。これにより実現される極めて高い精度と制御性能により、優れたパラメータ安定性を備えたほぼ理想的なコンデンサを、比較的限定された容量範囲で、しかも競合するセラミック系デバイスに比べてかなり高価なコストで製造することが可能です。
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